產(chǎn)品分類
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    耐磨耐腐熱電阻
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新聞詳情

氣體流量控制器:基于層流壓差原理的專業(yè)解析

來(lái)源:上海自動(dòng)化儀表作者:上海自動(dòng)化儀表網(wǎng)址:http://v2350.cn

上海自動(dòng)化儀表氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于控制氣體流量的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領(lǐng)域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關(guān)工藝的效率與質(zhì)量。


易度智能作為國(guó)內(nèi)完全國(guó)產(chǎn)自研的MFC制造商,以其技術(shù)和產(chǎn)品性能成為行業(yè)。小編從專業(yè)視角詳細(xì)解析基于層流壓差原理的MFC核心技術(shù)、工作機(jī)制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)。


1. 層流的基本特性


層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài),在層流狀態(tài)下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設(shè)計(jì)提供了理論基礎(chǔ)。



2. 壓差式測(cè)量的實(shí)現(xiàn)


層流壓差式MFC通過(guò)以下關(guān)鍵組件實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量:


層流元件:機(jī)械結(jié)構(gòu)確保氣體在通過(guò)時(shí)保持層流狀態(tài)。


壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量層流元件兩端的壓差值。


計(jì)算方式:測(cè)量出壓差后就可以根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量。


易度智能層流質(zhì)量流量計(jì)及控制器的核心優(yōu)勢(shì)


3. 完全國(guó)產(chǎn)自研


易度智能是國(guó)內(nèi)獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準(zhǔn)證書(shū)的企業(yè),并且是全球二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的制造商。其產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的技術(shù)空白,具備完全平替進(jìn)口設(shè)備的能力。



4. 高精度與高穩(wěn)定性


量程范圍廣:高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求,適應(yīng)多樣化的工況場(chǎng)景。


測(cè)控精度:高精型產(chǎn)品測(cè)量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi),重復(fù)性達(dá)到±0.1%,在行業(yè)中處于水平。


溫度壓力補(bǔ)償:內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器,通過(guò)實(shí)時(shí)修正,保證不同環(huán)境條件下的測(cè)量。


5. 嚴(yán)苛的質(zhì)量保障


核心部件自主研發(fā):所有關(guān)鍵組件均為自主設(shè)計(jì)與制造,確保質(zhì)量可控,可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品。


疲勞與耐久測(cè)試:每款產(chǎn)品需通過(guò)數(shù)千萬(wàn)次疲勞測(cè)試,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。


廣泛氣體兼容性:內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫(kù),用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體,開(kāi)機(jī)即測(cè),無(wú)需轉(zhuǎn)換系數(shù)。


上海自動(dòng)化儀表基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應(yīng)和可靠性在工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)重要地位。易度智能作為行業(yè)領(lǐng)軍者,以完全國(guó)產(chǎn)自研、全球技術(shù)和高可靠性產(chǎn)品,為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。